近几年来,新型的有机功能材料,由于具有传统的无机材料相似的性能而得到业界的广泛关注。无机材料根据性质的不同,在制备相应的薄膜上有不同的外延生长工艺。这些制备工艺要求很高,严重制约了其在高分辨率显示技术方面的发展。与无机材料相比,有机材料加工性好,可在任意基板上成膜;可人工合成有机分子,通过对其化学结构的设计改变有机材料在热、机械、发光以及导电等方面的性质;有机材料拥有较高的发光效率,尤其是蓝光有机发光材料它的荧光发光效率几乎可达100%。由于有机材料制成的有机半导体器件多数为薄膜结构,材料本身又具有良好的光电特性,在信息显示领域具有广泛的应用前景。目前,有机电致发光器件作为新一代平板显示器件正应运而生并逐步进入人们的视野。然而,生产成本较高、器件成品率较低且无法实现大面积均匀沉积是制约有机电致发光器件发展的重要原因之一。研究发现,除了使用高性能材料和合理设计器件结构之外,优化工艺,深入了解与分析有机材料生长机理也是提高材料利用率和器件性能的重要手段之一。随着计算机技术的进步和人们对材料工艺的结构及动态过程理解的深入,利用计算机对薄膜生长过程进行模拟成为了薄膜材料研究的有效方法。因为,计算机模拟一方面可以得到实验中无法观察到的细微变化;另一方面可以很方便地改变薄膜生长过程中的各种参数如沉积温度、沉积速率、腔体尺寸等。此外,计算机模拟还可用于研究实验上难以实现的高沉积速率、高沉积温度等极端生长条件下薄膜的生长情况,为提高效率,节约成本提供了理论依据。本文主要研究了有机薄膜的生长以及真空蒸镀系统中蒸发源的结构对薄膜均匀性的影响。根据真空条件下有机薄膜的生长机理,利用蒙特卡罗方法建立了仿真模型,并且开展了相应的实验与仿真结果进行了对比。对比发现,增加蒸发源个数、增大相对基板位置均可有效提高大面积基板上沉积薄膜的均匀性。除此之外,本文还提出了线型蒸发源蒸镀系统和有机气相外延系统的蒙特卡罗仿真模型。分析了影响这两种工艺条件下有机薄膜均匀性的因素。这种计算机模拟与实验相结合的方法不仅有利于工艺水平的提高,同时对工艺设备的设计和制造也具有重要的指导意义。