【摘 要】
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气敏传感器在环境保护、工业、民用等方面有广泛的应用,为了降低气敏传感器制作成本(计算机控制激光在基片表面选区沉积金属电极,既节省贵金属又不用制作价格昂贵的掩模版),
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气敏传感器在环境保护、工业、民用等方面有广泛的应用,为了降低气敏传感器制作成本(计算机控制激光在基片表面选区沉积金属电极,既节省贵金属又不用制作价格昂贵的掩模版),提高传感器气敏性能,该课题将激光诱导化学沉积技术和激光烧结技术结合在一起,主要研究脉冲Nd:YAG激光制备气敏传感器电极和烧结气敏功能薄膜的实验工艺及规律,并分析激光烧结提高薄膜气敏性质的原因.使用脉冲Nd:YAG激光分解价格便宜的AgNO<,3>、AuCl<,3>、Ni(NO<,3>)<,2>,利用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、俄歇电子谱(AES)、X射线衍射(XRD)等方法分析了各实验参数(光斑大小、激光功率、频率、扫描速度、扫描次数、源物质成分、基片性质等)对沉积的金属电极膜的金属量、表面形貌、在基片分布等的影响规律.采用溶胶-凝胶法制备了SnO<,2>、ZnO、WO<,3>气敏功能材料的前驱液溶胶,用涂膜法或喷墨打印方法使前驱液溶液在基片表面成膜.
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