光刻胶剥离液是光电及半导体行业中不可或缺的一类功能性湿电子化学品。随着全球光电及半导体工业井喷式发展,所产生的光刻胶剥离液废液量也随之增多。光刻胶剥离液废液的成分复杂且多为有机物,若处置不当将可能给环境带来较大的影响。如何环保而又经济地处置剥离液废液对构建完整的半导体生态产业链具有重要意义。为此,本文在现有回收处理工艺的基础上,探究了光刻胶剥离液废液高效回收工艺。主要研究工作如下:首先,使用ASPEN PLUS对现有回收工艺进行了稳态模拟,将结果与某厂现场装置采集数据比对,验证了模拟方法的有效性。据此提出了应用隔壁塔取代现有双塔流程的新工艺,并先后使用Petlyuk模型和四塔模型进行了稳态模拟。通过灵敏度分析探究了隔壁塔六个重要参数的可变范围,并简要分析了各参数对侧线产品品质和隔壁塔能耗的影响。其次,在灵敏度分析结果的基础上,通过响应面法对隔壁塔的重要参数进行了优化设计。设计了 8因素3水平共120组试验,结合方差分析,辨识了响应的影响显著项。在产品品质的约束下,以年总费用为目标函数,得到了各参数的最优解。并对现有流程和隔壁塔流程进行了经济评价,结果表明隔壁塔流程的经济效益佳。最后,利用奇异值分解方法对剥离液废液新型分离工艺的控制方案进行了探讨。并结合动态模拟,观察了不同控制方案下引入扰动后的动态响应结果。结果表明,浓度-温差串级控制方案具有较好的鲁棒性。此外,在MATLAB中建立了侧线产品组成的BP神经网络软测量模型,通过OPC服务器将软测量模型与ASPENDYNAMICS动态模拟连接,实现了基于BP神经网络软测量模型的浓度-温差串级控制方案。