【摘 要】
：
平板显示产品正朝着大尺寸、全高清、轻薄、柔性的方向发展。氧化物薄膜晶体管（TFT）因其迁移率高、均匀性好、透明性好、制备温度低、工艺兼容性好等特点,已逐渐取代传统的非晶硅和多晶硅TFT,在透明显示领域特别是在有源矩阵显示领域中得到了广泛的应用。当前,n沟道氧化物TFT已实现优良的器件性能,并用于商业显示应用。然而,由于缺乏高空穴迁移率的p型氧化物半导体,已报道的p沟道氧化物TFT性能很难与n沟道氧
论文部分内容阅读
平板显示产品正朝着大尺寸、全高清、轻薄、柔性的方向发展。氧化物薄膜晶体管（TFT）因其迁移率高、均匀性好、透明性好、制备温度低、工艺兼容性好等特点,已逐渐取代传统的非晶硅和多晶硅TFT,在透明显示领域特别是在有源矩阵显示领域中得到了广泛的应用。当前,n沟道氧化物TFT已实现优良的器件性能,并用于商业显示应用。然而,由于缺乏高空穴迁移率的p型氧化物半导体,已报道的p沟道氧化物TFT性能很难与n沟道氧化物TFT相提并论,所以目前使用的氧化物TFT大多局限于n沟道器件。本论文针对高性能氧化锡（SnOx）TFT器件技术开展研究。通过低温等离子体处理沟道技术,实现了 SnOx材料的双极导电特性,制备了具有优良器件特性的n型和p型SnOxTFT,并进行了器件的光照稳定性研究。此外,通过半导体器件模拟TCAD工具进一步研究了低温等离子体处理沟道技术对SnOx TFT性能的影响机制。论文取得的进展主要有以下几个方面内容:（1）利用氧等离子体处理沟道技术,优化氧等离子体处理沟道的时间,成功制备了具有高迁移率且低操作电压的n沟道SnOx TFT,其器件迁移率可达87.6 cm2V-1s-1,操作电压低于5 V。器件特性的提升可归因于优化后的氧等离子体处理可以减少有源层中的Sn2+成分,形成富氧的n型SnOx,使载流子浓度升高。此外,该n沟道SnOx TFT显示出优良的可见光照稳定性。（2）利用SnO沟道掺杂铝（Al）的方法,成功制备了具有高迁移率且低操作电压的p型Al掺杂SnO TFT,其器件迁移率达8cm2V-1s-1,操作电压低至3V,其优良的器件性能可归因于Al3+-Sn4+的替位反应,增加了沟道层中的空穴载流子浓度。此外,通过采用氟等离子体处理沟道技术,钝化了界面陷阱态密度,显著减少了类受主缺陷,从而提升了 p沟道Al掺杂SnO TFT的开关电流比和亚阈值摆幅。（3）结合TCAD器件模拟工具,通过引入态密度模型对n沟道和p沟道SnOx TFT进行了器件模拟仿真,研究了低温等离子体处理沟道技术对SnOxTFT性能的影响,为器件特性的进一步优化提供了理论依据。本论文工作基于SnOx材料的双极导电特性,成功制备了性能优良的n沟道和p沟道SnOx TFT,这对于进一步实现全氧化物半导体CMOS具有重要的意义,将为新一代显示技术和物联网应用提供重要参考。
其他文献
长寿风险指的是个体或群体未来的平均实际寿命高于预期寿命而产生的风险,人类寿命延长的不确定性给全世界人寿保险行业的风险管理带来了巨大的挑战。在我国,随着人口预期寿命的不断提升以及出生率的下降,逐渐面临严重的老龄化问题,人口老龄化加剧了长寿风险给保险业带来的威胁。而与此同时,我国现阶段对于长寿风险管理的探索仍然不足,特别在死亡率相关证券和衍生品的应用方面,大多研究仅停留于理论的可行性分析,没有足够的数
随着生态环境的恶化,全球步入了巨灾频发的时代。在日益严重的灾害损失面前各国开始寻找有效的巨灾风险管理方式,保险和再保险逐渐成为市场认可的弥补灾后损失的重要手段。我国保险市场起步较晚,发生严重自然灾害后往往依托于政府拨款救助和社会募捐,巨灾保险保障不足成为巨灾风险管理的一大难题。再保险公司作为保险公司的强大后盾和资金补给,在巨灾发生后为保险公司分担了部分赔款压力。但在面对大额赔付时,再保险公司的运营
2012年以来,我国保险业开始迈入“放开前端、管住后端”的监管时代。监管机构通过拓宽保险公司的投资渠道、逐步取消预定利率的上限等监管举措,提高保险业投资经营的主动性和灵活性。然而,“放开前端”的监管政策转变,叠加国内低利率的宏观环境,迫使寿险公司在经营过程中面临更多复杂风险,以规模为导向的第一代偿付能力监管制度（即“偿一代”）已无法准确衡量新形势下保险公司所需的资本,以风险为导向的第二代偿付能力监
随着产品利润率下降,信息技术和供应链交汇融合,制造企业不仅与第三方物流服务商实现信息共享,还将运输外包给第三方承运商。C制造企业成立物流部负责与多家承运商合作,根据运输时限,将承运商分为普通承运商、快速承运商和特快承运商,C公司需要决策如何将承运商与产品运输匹配。总体上,C公司先运用CRM系统选择承运商,但是该系统使用阶段选择的效率低;接着,采用TMS系统选择承运商,但是该系统导致短时间内业务混乱
近年来,随着全球气候与环境恶化,自然灾害发生呈现明显的上升趋势,而我国由于地貌复杂,自然灾害种类繁多,经济损失巨大。在自然灾害频发背景下,人们越来越意识到保险保障的重要作用。然而,面对极端自然灾害,保险公司可能并不足以完全应对,甚至有破产的风险。再保险作为“保险的保险”,在保障保险行业稳定中扮演着举足轻重的角色。另一方面,我国近年来呼吁保险回归保障本质,强调保险的保障属性和服务属性。在此背景下,本
城乡居民医保整合是我国医保制度一体化建设的重要一步。长期以来,我国城镇职工医疗保险、城镇居民医疗保险和新型农村合作医疗保险三种医疗保障制度并立,其内在的城乡割裂、制度分设、管理分割导致出现城乡居民医疗负担有别、流动人口异地就医难、人员重复参保、财政重复补贴等诸多问题。因此,“整合”被认为是降低医保制度碎片化、减轻农村居民医疗负担、实现城乡居民医保公平的重要举措。目前我国正在加快完成城乡居民医保整合
光纤声波传感器不仅灵敏度高、频带响应宽,而且还可以在高温高压、强辐射和强腐蚀等环境中工作。近年来,光纤声波传感器取得快速发展,尤其是膜片式的非本征法布里-珀罗干涉型（EFPI）光纤声波传感器。但是,此类传感器还存在着工作点漂移、稳定性低以及难以实用化的问题,本文对膜片式的非本征法布里-珀罗干涉型（EFPI）声波传感器在声压敏感材料、结构设计、信号处理以及在水下定位应用进行了深入的研究,主要工作体现
履带式机器人在物流托运、医疗消毒等领域扮演重要的角色,其中机器人的运动规划作为智能导航的核心,直接影响作业执行的效率和平稳性。针对未知障碍物环境下履带式机器人运动规划需求,本文以快速扩展随机树算法（Rapidly Exploring Random Tree,RRT）和动态窗 口算法（Dynamic Window Approach,DWA）为基础,以机器人操作系统（Robot Operating S
近年来随着互联网技术和应用的快速发展,人们的生活方式和社会服务都发生了翻天覆地的变化。网上购物、在线服务等正在逐渐成为国人消费的主要模式。其中,O2O模式在电子商务领域的不断发展壮大,网上订餐、跑腿代购等等服务的出现,O2O的配送服务（O2O-IDS）就成为这个商业模式中不可或缺的重要一环。由于多种不确定性影响因素的存在,配送平台提供的服务能力经常会受到多种类的、不同层次的冲击和影响。O2O配送平
光纤激光器在工业和科学研究领域产生了重大的影响,数十年来,有关光纤激光器的探索在不断深入,研究人员已将光纤激光器的工作波长从紫外光延伸到了中红外光。其中,由于工作波段在3 μm左右的中红外激光源覆盖了大气吸收窗口、水分子以及CO2吸收区域,因而可以将其应用在环境监测、激光外科手术、激光雷达以及科学基础研究中。目前实现3 μm中红外激光的方法有非线性技术和直接产生技术,非线性技术包括光参量振荡技术和