微纳米技术是未来科技发展的关键组成部分,使加工产物向小型化和智能化方向发展。传统微纳米加工技术所需要的加工设备价格昂贵,加工条件要求较高,极大制约了微纳米加工技术的大范围应用。光诱导微纳加工技术,基于介电泳原理,可以实现对微纳米颗粒,如二氧化硅颗粒,碳纳米管、生物细胞的移动和分离,也可完成金属离子的电化学沉积,实现微纳米金属的加工制造。微纳米柔性器件可以应用于很多生物测试中,目前的加工方法主要局限于打印和光刻方法,加工成本和最小加工精度受到很大限制。本论文以光诱导微纳加工为研究对象,对金属微电极的加工参数进行探究,并进行理论分析,对优化后参数产生的金属微电极转印到柔性基底,实现了基于光诱导微纳加工的柔性器件的制造。论文的主要研究内容包括:(1)基于光诱导介电泳汇聚和动态移动二氧化硅颗粒和PEGDA模块。基于光诱导在空间中对微纳米颗粒的介电泳作用和实验与仿真得到的操作参数,在光诱导介电泳平台上通过介电泳力移动并操作PEGDA模块,实现模块的拼接、排列和旋转等操作。(2)研究光诱导电化学反应原理。对光诱导电化学反应机理通过数学公式分析证明,并使用有限元分析软件对光诱导电化学在空间中进行仿真分析,得到相应的反应机理及参数要求。(3)对基于光诱导电化学沉积的金属微电极的加工参数进行分析。通过对影响光诱导电化学沉积金属微电极的加工参数(输入交流电信号频率、幅值,金属盐溶液浓度和氢化非晶硅厚度)研究,使加工出的金属微电极的形状可控,并且对表面粗糙度和沉积高度进行表征,得到相应参数可加工出符合要求的金属微电极。(4)采用转印方法将光诱导电化学沉积的金属微电极转移到柔性基底上。研究可行方案将光诱导电化学沉积的金属微电极转印到柔性材料上,并且保证转印后的微金属电极形状完整,导电性能良好。(5)优化转印方法研究不同转印参数对转移影响。对不同转印方式和转印基底参数实验分析,得到理论转印成功概率,并通过实验结果优化转印方法,得到一种高效的,完整的转印微电极方式。通过使用光诱导电化学沉积可以在常温、常压下,快速沉积出图形化的金属微电极,相较于其他微纳加工方法具有很大优势,控制外部参数实现了控制沉积电极的形状、高度和精细程度,将微金属电极转印到柔性材料上,拓展了光诱导电化学沉积电极的应用范围,为此方法下实现柔性传感器器件打下良好的基础。