低温等离子体降解技术在处理低浓度,高流量的挥发性有机物（Volatile Organic Compounds,VOCs）具有降解效率高,低成本,低能耗的优点而受到广泛的关注。在低温等离子体降解VOCs的研究中发现降解尾气存在气溶胶颗粒物,对气溶胶颗粒物粒径大小的研究对于理清低温等离子体降解VOCs废气过程中的产物具有非常重要的意义。本文使用介质阻挡放电装置产生低温等离子体对甲苯气体进行降解,搭建光散射浊度计测量降解尾气中气溶胶的散射相函数并反演得到其粒径信息,研究气溶胶粒径大小与等离子降解条件的对应关系,从而为优化降解条件提供相应实验数据。主要工作与实验结论如下:1.调研了低温等离子体降解VOCs产生的气溶胶的研究现状,发现气体放电产生的气溶胶的粒径普遍小于1μm,并且200nm以下的细颗粒物在气溶胶中占主要部分,低于常用的气溶胶粒径检测装置或检测方法的探测下限,而基于Mie散射理论的光散射法在探测灵敏度,准确性以及探测下限等性质上满足测量需要。目前使用光散射法测量气体放电产生的气溶胶的散射性质并反演得到粒径大小的研究较少,基于Mie散射原理搭建光散射浊度计测量气体放电产生气溶胶的散射性质并反演得到粒径大小具有创新意义。2.搭建了VOCs的等离子降解系统对甲苯气体放电降解产生气溶胶;设计并优化了光散射浊度计,测量甲苯气体放电降解产生的气溶胶的散射相函数;使用氮气与DESH气溶胶颗粒物作为标准粒子对整个光散射浊度计的测量范围与测量的准确性进行标定与校验,结果表明浊度计能用于研究低温等离子降解VOCs产生的气溶胶的散射性质。3.通过改变放电电压、甲苯气体停留时间、甲苯的初始浓度这些等离子降解条件从而产生不同粒径大小的气溶胶,将其通入光散射浊度计中测量散射特性并反演得到粒径大小。研究发现甲苯气体放电产生的气溶胶的粒径大小与上述等离子降解条件有关,可以通过提高放电电压,增加气体在放电装置的停留时间以及减小甲苯的初始浓度的方法来减小气体放电产生的气溶胶的粒径大小。