近年来,低温等离子体协同光催化技术净化低浓度VOCs受到各国研究者的普遍关注和重视,主要研究的问题集中在低温等离子体与光催化剂协同降解机理、反应器结构、供电参数的优化、光催化剂的选择及其再生等方面。本文对介质阻挡放电条件下产生的低温等离子体协同纳米TiO₂光催化降解低浓度VOCs进行了实验研究。选取甲苯气体为研究对象,主要考察了外接电极形式、电压、停留时间、初始浓度、气体相对湿度、光催化剂对降解率的影响;同时,探讨了介质阻挡放电协同光催化降解VOCs的过程。为推动装置工业应用,还考察了反应器的串联、功率消耗、能量利用,压力损失及反应器腐蚀情况。实验结果表明:1)在实验相同条件下,甲苯的降解率随反应器电压的升高而增大;随气体停留时间的增长而增大;随初始浓度的增大而不断下降;随着模拟气体湿度的增加,先增大后减小,相对湿度为30%左右时,甲苯的降解率最高。同时发现,用铜带作反应器的外接电极,甲苯的降解率高于铜网和不锈钢丝网。2)纳米TiO₂光催化剂有助于提高甲苯降解率,对臭氧也有一定抑制作用。当电压升至22kV时,有光催化剂比无光催化剂时降解率提高了近10%。3)能量利用率随着输入能量的增大而下降;随气量、浓度的增加而上升。相同实验条件下,铜网比铜带作反应器的功耗小,能量利用率更高。4)反应器二级串联后,对于低浓度（≤1000mg/m³）的甲苯,总降解率达到80%以上;对于高浓度（2000mg/m³）,总降解率也可达到70%以上。5)填充型反应器的气流阻力过大,尤其是反应器串联后,压力降更大,填料的布置方式仍需改进。反应器外接电极材料宜选取不锈钢丝网,可避免铜带和铜网材料的腐蚀,减小对介质阻挡放电的影响。