【摘 要】
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随着各种光电产业技术的不断发展,对其产品性能要求越来越高,特别是对非球面元件加工精度以及表面质量提出了更高的要求,因此如何使非球面元件具有更高的形状精度和更光滑的
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随着各种光电产业技术的不断发展,对其产品性能要求越来越高,特别是对非球面元件加工精度以及表面质量提出了更高的要求,因此如何使非球面元件具有更高的形状精度和更光滑的表面成为一个重要的研究内容。本文从提高磨削加工工艺和检测精度的角度出发,在测量数据处理、加工精度分析、误差补偿加工等方面进行了深入研究。本文以φ51.5mm的凸形非球面镜的磨削加工和接触式检测为研究对象,针对动态测量数据的特点,提出对中心化后的数据基于莱以特准则的异常值剔除方法。根据磨削过程中工件表面出现漩涡状菊花纹和中心锥形凸台的现象,分析了砂轮对刀误差对轮廓形状的影响。对安装倾斜误差,提出了基于椭圆拟合的去除方法。最后,通过零位补偿法检测该非球面元件,面形精度达到PV=0.237λ和RMS=0.036λ,验证了加工工艺改进方法的合理性。
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