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平面度测量是几何量计量中的一项重要组成部分。平晶,作为对平面的平面度、直线度、平行度以及研合性进行检测的基本计量器具,对其本身平面度的有效精确测量就显的尤为重要。本文研究对中国计量科学院生产的C4-1型等厚干涉仪进行修复以及数字化改造,对平面平晶以及长平晶平面度进行测量。在论文中,对比介绍了平晶平面度的几种检定方法,并且通过理论和实践对等厚干涉仪测量平晶平面度的方法进行了分析研究。首先对C4-1型干涉仪进行了结构及光路的分析,研究改造的可行性；接下来,对干涉仪进行改造,加装激光器、CCD相机