溶胶—凝胶法研制ZAO透明导电薄膜

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透明导电氧化物薄膜材料具有大的载流子浓度和光学禁带宽度,因而表现出优良的光电特性,如低的电阻率和高的可见光透过率等。目前在太阳能电池、平板显示器的透明电极、电磁防护屏以及建筑玻璃的红外反射涂层等方面得到了广泛应用。Al3+掺杂ZnO(即ZAO)薄膜,由于具有与ITO薄膜相比拟的对可见光的高透过率和高电导性,又因其原材料在自然界中的储量丰富、易于制造、成本低廉、无毒、热稳定性好和化学稳定性好等优点,已成为替代ITO透明导电薄膜的研究热点。制备ZAO薄膜的方法有很多如磁控溅射、化学气相
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