【摘 要】
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抛光垫是构成抛光系统的重要组成部分,一般可将其分为不含磨料抛光垫及固结磨料抛光垫。其中,固结磨料抛光垫因其磨料利用率高、平坦化效果好及对环境无污染等诸多优点而被广泛使用及研究。固结磨粒抛光垫的制备技术一般包括:微复制技术、丝网印刷技术、光固化、热固化及冰冻固结技术以及溶胶凝胶技术等。固结磨粒抛光垫在制备过程中通常工艺较为复杂。纤维材质的固结磨粒抛光垫常会出现纤维易断裂、粘结剂与纤维的粘结不够牢固及
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抛光垫是构成抛光系统的重要组成部分,一般可将其分为不含磨料抛光垫及固结磨料抛光垫。其中,固结磨料抛光垫因其磨料利用率高、平坦化效果好及对环境无污染等诸多优点而被广泛使用及研究。固结磨粒抛光垫的制备技术一般包括:微复制技术、丝网印刷技术、光固化、热固化及冰冻固结技术以及溶胶凝胶技术等。固结磨粒抛光垫在制备过程中通常工艺较为复杂。纤维材质的固结磨粒抛光垫常会出现纤维易断裂、粘结剂与纤维的粘结不够牢固及磨料分布不均而导致抛光垫使用寿命短及抛光效果差等问题。本文基于碳纳米管纤维优异的力学物理化学特性和金刚石
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