【摘 要】
：
该论文采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)生长技术,原位制备了SiO/nc-Si/SiO的纳米结构.实验中我们首次采用等离子体氧化的方法,获得了作为隧穿氧化层超薄SiO层,并利用l
论文部分内容阅读
该论文采用等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)生长技术,原位制备了SiO<,2>/nc-Si/SiO<,2>的纳米结构.实验中我们首次采用等离子体氧化的方法,获得了作为隧穿氧化层超薄SiO<,2>层,并利用layer by layer的方法制备了纳米硅层,然后再用等离子体氧化的方法形成栅氧化层.我们通过对基于硅纳米晶粒的MOS结构的电容电压(C-V)测量,研究了硅纳米晶粒的电荷存储现象.
其他文献
本论文围绕HgCdTe环孔探测器的研制开展了研究工作:通过对刻蚀速率和刻蚀轮廓的研究，实现了环孔探测器的关键工艺—环孔通道的制备;通过离子束刻蚀碲镉汞电学特性的研究，确定了
近年来,通迅与多媒体应用的迅速发展,使得有限的带宽与多媒体数据的茂大信息量的成为了一对显著的矛盾.为解决这个矛盾,数字语音压缩编码技术的应用越来越广泛,并迫切要求语
内吞体是胞内运输过程中重要的中间载体，维系了多种内吞相关细胞器之间的物质交流。细胞中主要有三种类型的内吞体:早期、晚期和循环内吞体。早期内吞体作为中心，介导了两个不
该课题旨在为微型磁通门进行建模与分析,研究其性能,确定其最佳结构参数.通过对国内外微型磁通门传感器的发展状况及研究成果的回顾,确定了微型磁通门传感器的模型基本结构,
相较其他普通市场而言,农贸市场具有更多的人流量与物流量,这也决定了它的产品具有一定的多样性。由此特性可以看出,农贸市场的运行与管理将会存在很多方面的问题,只有做到科
苏宁控股集团董事长张近东,在短短几天里连续飞了26个小时,从南京到米兰再回到南京,就是为了赶上今年的“苏宁之夏”晚会。这台晚会对于苏宁有特殊的意义,2000年的时候,空调
该文在充分调研了目前的各种射频滤波器的基础上,提出了基于微电子机械系统技术的采用高品质PZT压电薄膜的射频体声彼谐振器、滤波器.该射频体声波谐振器用到了电极-压电薄膜
近年来,随着计算摄像学的发展,光谱采集系统逐步被运用于地物光谱场景的采集。本文以此为出发点,根据地物光谱场景的特点,提出了光谱图像本质分解(SIID)模型——将光谱场景分
水稻是重要的粮食作物，其杂种优势利用取得了空前的成就，但农作物杂种优势的调控机制和分子机理还知之甚少。研究表明杂交水稻差异表达基因与杂种优势存在相关性。本实验室构建
该文主要在超高真空环境下研究单壁碳纳米管对气体的吸附和脱附,以及吸附、脱附对其场发射特性的影响.分别对W针尖上未组装和组装单壁碳纳米管进行热处理,然后对所得残气质谱