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NEMS动态测试技术是NEMS测试技术的重要组成部分,对NEMS技术的发展具有重要的研究意义。论文分析了NEMS器件动态测试技术的研究现状,以一种重要的NEMS器件—纳米梁谐振器为测试对象,采用原子力显微镜(AFM)作为测试平台,开展了NEMS器件振动特性测试技术的研究,对纳米梁谐振器的动态特性进行了评价和表征。论文主要完成了以下几个方面的工作:1、阐述了NEMS器件的特点和应用,讨论了NEMS器件动态特性测试技术在NEMS器件研究领域的重要性,论述了NEMS器件动态测试技术的研究现状,