纳米梁谐振器相关论文
针对纳米振动测量中电学方法和光学方法的间接测量、分辨率低，以及带宽低的局限性，本文采用原子力显微镜(AFM)的动态模式测量纳米梁......
纳米梁谐振器是某一维度上的特征尺度小于100nm纳米级谐振器。纳米梁谐振器以其超小的体积与质量，超低的功耗，超高的灵敏度，体现了NEM......
采用基于显微激光多普勒(MicroLD)技术的共振频率法,测量了纳米梁谐振器的残余应力。首先,根据梁的横向弯曲振动理论建立了轴向力......
NEMS动态测试技术是NEMS测试技术的重要组成部分,对NEMS技术的发展具有重要的研究意义。论文分析了NEMS器件动态测试技术的研究现......
针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜（AFM）的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的......
提出了一种在计量型原子力显微镜（AFM）上开发力曲线功能模块的方法.通过在计量型原子力显微镜上增加可调三角波发生器、信号切换和缓......
纳米梁谐振器是一种重要的NEMS器件,在射频和传感等领域具有广阔的应用前景。纳米梁谐振器的机械力学特性测试技术和动态特性测试......
为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性，建立了测试中的关键模型：静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器......
