【摘 要】
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在微机电系统(MEMS)发展的大力带动下,微机电系统动力学正在逐渐成为21世纪新的研究领域和研究方向。为了满足各种MEMS的需求,MEMS开关的发展方向特点为:大规模集成度、低驱动电压、高频段和低成本。已有的研究表明:大变形引起的几何非线性、静电驱动力引起的载荷非线性等因素影响了MEMS开关的振动力学性能,由此引发的非线性动力学问题已受到学术界广泛关注并已成为目前MEMS研究的热点之一。与此同时,
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在微机电系统(MEMS)发展的大力带动下,微机电系统动力学正在逐渐成为21世纪新的研究领域和研究方向。为了满足各种MEMS的需求,MEMS开关的发展方向特点为:大规模集成度、低驱动电压、高频段和低成本。已有的研究表明:大变形引起的几何非线性、静电驱动力引起的载荷非线性等因素影响了MEMS开关的振动力学性能,由此引发的非线性动力学问题已受到学术界广泛关注并已成为目前MEMS研究的热点之一。与此同时,MEMS的制备材料如单晶硅、多晶硅、氧化硅、形状记忆合金、石墨烯等,一般都具有非线弹性的本构关系即材料非
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