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薄膜材料,尤其是金属薄膜,具有多种多样的性能,包括电磁学性能、光学性能、气敏特性、力学性能、超导性能等,因此在军事、石化、重工业、轻工业等领域中被广泛地应用。纳米薄膜是由纳米量级的晶粒组成的单层或多层薄膜,其特性不仅受材料属性影响,很大程度上还受其表面结构和厚度的影响。因此,为了能够深入探究薄膜材料的各种特性,精确地测量薄膜的厚度是至关重要的。本文旨在改进相位测量方法的设计,提高纳米级双层金属层膜厚的分辨力。论文分析了几种常用金属薄膜厚度检测方法的特点,表面等离子共振(SPR)效应检测银、金双层金属