利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动

被引量 : 29次 | 上传用户：nail_dingding

【摘要】

：

MEMS 动态测试技术，因其能够测试 MEMS 三维运动，分析 MEMS 动态特性、材料特性以及机械力学参数等关键数据，已成为 MEMS 测试技术的重要组成部分。而研究如何在 MEMS 运动过程中记录瞬间运动状态，并恢复 MEMS 表面的离面运动历程，则是 MEMS 动态测试技术实现离面运动测量的关键，因而必须解决。本文在充分调研的基础上，结合频闪成像技术和相移显微干涉技术，建立了...

【作者】

：

胡春光

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2004年06期

【关键词】

：

MEMS 测试离面运动相移显微干涉频闪成像相位展开虚拟仪器

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