目前，多晶硅行业中四氯化硅氢化生产三氯氢硅的传统工艺普遍存在三氯氢硅收率低，工业生产上一般最高在20%。为此，本文开展四氯化硅微波等离子氢化转化研究。论文主要内容包括：　　 1、为了揭示传统工艺低转化率的原因，同时也为了探索高转化率的可能性及实现的工艺要求，首先对四氯化硅氢化过程进行热力学计算和动力学计算，从理论上寻找可能的解决方案。　　 2、开发新型微波等离子反应器。为了使四氯化硅微波等离子氢化容易实现工业化和运作低成本，四氯化硅的氢化最好在常压下进行。常压下的微波等离子体反应活性非常高，如等离子体中的电子温度通常能达104K，四氯化硅很容易被还原为硅粉。要使氢化反应停留在中间的三氯氢硅，需要采用一种比传统等离子体“温和”的等离子体，要取得这种“温和”等离子体，需要设计新型的反应器。　　 3、研究并优化四氯化硅微波等离子氢化的工艺参数，建立数学模型。微波等离子一般是非平衡体系，不能简单用传统平衡体系的处理方法来解决。目前，等离子体化学工程还处于经验积累阶段，没有系统的理论体系。因此，本论文将针对四氯化硅氢化反应，建立数学模型，以便为其工业化提供更多的技术支持，探索非平衡等离子体化学工艺过程的理论。　　 4、设计新型高功率，能够产生特定等离子体的全金属反应器。目前工业和实验室应用的的反应器寿命较短，要开发新型的反应器。借助现有电磁场模拟软件，本着设计一模拟一实验验证的路线，探索开发新型反应器。