【摘 要】
：
随着集成电路的快速发展,器件的特征尺寸不断缩小,当工艺尺寸缩小到28nm以下时,鳍式场效晶体管（Fin FET）依靠其较强的沟道控制能力和较小的泄漏电流,逐渐取代传统的平面MOS器件,成为主流技术。然而,由于Fin FET器件具有较薄的硅体积和特殊的鳍（Fin）状结构,导致在静电放电（ESD）来临时器件的鲁棒性较低。此外,随着尺寸的缩小,器件的栅长、氧化层厚度等参数都会下降,这使得器件的栅氧击穿电
论文部分内容阅读
随着集成电路的快速发展,器件的特征尺寸不断缩小,当工艺尺寸缩小到28nm以下时,鳍式场效晶体管（Fin FET）依靠其较强的沟道控制能力和较小的泄漏电流,逐渐取代传统的平面MOS器件,成为主流技术。然而,由于Fin FET器件具有较薄的硅体积和特殊的鳍（Fin）状结构,导致在静电放电（ESD）来临时器件的鲁棒性较低。此外,随着尺寸的缩小,器件的栅长、氧化层厚度等参数都会下降,这使得器件的栅氧击穿电压等参数也随之下降,ESD设计窗口变窄,进一步增加了ESD设计的难度。为满足小尺寸器件的ESD防护需求,本文基于Fin FET工艺提出了以下两种ESD防护器件:（1）一种基于Fin FET工艺的PNP ESD防护器件,该结构采用浅沟槽隔离技术将阳极端与阴极端隔开,这改变了器件泄放时的电流路径,迫使电流从窄Fin进入体硅中,更多的利用体硅进行泄放,在一定程度上降低了窄Fin中的电流聚集效应,提高了器件的鲁棒性。此外浅沟槽隔离的使用,增加了器件的泄放路径和导通电阻,再加上器件的多子空穴具有较低的迁移率,这使得器件的触发电压较大。综上所述,该器件在触发电压、失效电流以及ESD防护窗口等方面还有较大的优化空间。（2）一种寄生SCR的新型双Fin ESD防护单元,该防护单元在Y轴方向上寄生了SCR结构,利用SCR开启后的正反馈效应提高器件的泄放能力。此外Y轴方向上的寄生效应有利于增强电流的纵向移动,这能缓解窄Fin中的电流聚集效应,抑制器件局部热点的形成。纵向的双Fin布局,能够减小了器件的基区宽度,避免了Fin FET工艺中由于弱电导调制导致的寄生SCR无法正常工作的现象,因而新的防护单元获得了较高的鲁棒性。
其他文献
绝缘栅双极型晶体管（Insulated Gate Bipolar Transistor,IGBT）作为电力电子系统的核心元件,广泛应用在工业控制、汽车电子以及航空航天等领域。但随着IGBT应用在更高的开关频率以及更复杂的环境中,如何获得开启功耗和电磁干扰（Electromagnetic Interference,EMI）噪声之间的优良折衷以此来提高器件的可靠性,成为研究的焦点。为了解决此问题,本文
北京市“疏解整治促提升”专项行动是推动落实京津冀协同发展、应对北京市“大城市病”问题的重大战略部署。“疏整促”是一套组合拳，其本质是通过对城市低效发展、过度发展的存量空间进行主动干预，逐步推进功能优化、环境提升的系统性城市更新。研究首先梳理“疏解整治促提升”专项行动的缘起与进展，指出非首都功能疏解是倒逼城市发展转型的重要手段，目前北京市已进入以“促提升”为核心的实施阶段。其次，结合疏解腾退空间的特
随着物联网通信的蓬勃发展,IEEE 802.15.6标准化小组将X波段作为体域网离体通信的建议使用频段。通常在设计通信系统前,需要在目标频段与特定场景中对无线信道进行测量与建模,分析研究信道的传播特性对网络性能的影响。本文通过对X波段室内无线离体信道的测量与建模,重点研究收发天线距离与人体旋转角度、收发天线高度对信道传播特性的影响。本文选取三个典型室内环境（封闭办公室、大型会议室、狭长走廊）作为测
平面反射阵列天线由反射阵面和空间馈源组成,其因具有剖面小、增益高、成本低、容易加工等优点,在商用、民用以及军事上的用途越来越广泛。其中,基于机械调谐、电子元件调谐、液晶调谐的具有波束扫描能力的平面反射阵列天线更是受人追捧。液晶调谐作为机械调谐和电子元件调谐后续发展而来的技术,缓解了这两种调谐技术的高复杂性及难以应用于高频段等问题,因此受到了越来越多的关注。本文的主要工作内容如下:设计了工作于X波段
随着移动互联网的迅速发展,新业务的不断涌现使得移动数据流量爆炸式增长,频谱短缺问题亟待解决。区别于同一正交资源块（如时间、频率）只为一个用户提供服务的传统正交多址接入（Orthogonal Multiple Access,OMA）技术,功率域的非正交多址接入（NonOrthogonal Multiple Access,NOMA）技术利用不同的功率级别区分用户,允许多个用户同时同频传输各自的信息,从
电子局域化研究一直是凝聚态物理的研究热点之一。1958年安德森发现由无序导致的电子局域化现象,为研究无序系统中波的行为奠定了基础。基于安德森模型,1967年莫特提出了迁移率边概念,其为分开定域态和扩展态（退局域态）的临界能量。长期以来,人们关注厄米系统。近年来,为了考虑环境的影响,人们也开始研究非厄米系统。有些问题值得进一步探索:厄米系统中存在迁移率边,什么决定了迁移率边的数量;边界条件及无序特征
目的了解福建省65岁及以上老人在60岁时的膳食结构和高血压之间的关系,为相关机构指导老年人合理膳食、采取适当干预措施、推广合理膳食提供参考。方法按《2018年中国老年健康影响因素跟踪调查实施方案》,抽取福建省8个设区市11个县（市、区）≥65岁老人的数据,内容包括膳食情况和高血压患病等资料。利用因子分析建立膳食结构模型,采用单因素Logistic回归分析来分析不同膳食结构与高血压患病情况之间的关系
在数据大爆炸的时代环境下,随着互联网信息技术的飞速发展和企业规模的逐渐扩大,大部分企业都需要拥有自己的任务调度系统去处理各种复杂的数据业务工作。其中比较多的就是定时任务,比如企业每天的工作日报发送,员工考勤状况统计等等。过去的任务需求比较简单,部署单服务器节点即可完成调度,但是随着定时数据业务的应用需求变多,许多公司对任务调度系统的功能需求也会随之增高,单服务器调度面对大规模任务需求的处理效率缓慢
空气中有害微量气体会导致环境恶化还会影响人体健康,因此对空气中微量气体的检测具有十分重要的研究意义。可调谐半导体激光器吸收光谱（Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy,TDLAS）技术是微量气体检测的一种高效方法。但是在TDLAS检测系统当中会存在噪声的干扰,使最后的检测结果存在一定误差。基于TDLAS传感器的噪声抑制问题,本文提出了一种变分模态分解
近十年来,随着物联网和消费电子的快速发展,人们对高性能、便携性、可穿戴性电子设备的需求推动了晶体管集成密度的升级。但由于隧道效应等问题,在后摩尔时代人们投入了巨大的精力研究器件的材料和结构,以提高场效应晶体管的性能。离子液体是由阴、阳离子组成的高极性、低熔点的二元盐类,目前已在电化学器件、制动传感器、光学器件、催化、分离、润滑材料、电化学发光材料和药物运输等多个领域都发挥了巨大的作用。相比于传统固