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微机电系统(MEMS)具有集成度高、体积小、功耗低、性能稳定和价格低廉等特点,现正逐步替代传统的机械结构与电路组成的电子元器件。其应用领域主要涉及信息通信、自动控制、航空航天、生物化学、医疗器械、消费电子以及军工产品等。本文首先介绍了基于折叠式双S形反转串联驱动器结构的电热MEMS微镜原理及相关应用,并对驱动器的驱动原理进行了详细的阐述,分析了驱动器形变与镜面偏转间的内在关联；紧接着讨论了MEMS微镜系统的数学建模方法,通过引入热导和弹簧刚体模型归纳了多驱动器间的热传导和相互作用力导致的形变