近年来,随着微电子及半导体产业的不断发展,微机电系统(Micro-ElectroMechanical Systems,MEMS)已经被越来越多地运用于日常生活中......

微光电子机械系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical-System,MOEMS)是将光学与MEMS结合的产物,具有低成本、高性能、微型化、集成化,......