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随着电磁器件微型化、集成化和高频化的不断发展,对软磁材料提出了更高的要求。软磁材料必须具有高磁导率μ、高饱和磁化强度Ms、高电阻率ρ和适当大的各向异性场Hk,以便有效降低涡流损耗、提高截止频率。金属—绝缘体纳米颗粒膜是一种新型的软磁材料,它将金属材料的高磁导率μ和绝缘体材料的高电阻率ρ集为一身,使得在一种材料中同时具有高磁导率和高电阻率成为可能,因此近年来这类颗粒膜材料已经成为软磁材料研究领域的热点之一。而颗粒膜的各向异性调制对拓展其工作频率是极其重要的。本文中,我们采用射频磁控溅射方法制备了FeCo-B2O3系列纳米软磁颗粒膜。利用X-ray衍射和HRTEM得到了样品的微观结构信息;用VSM和直流四端法等系统地研究了样品的磁性和电性;利用短路微扰传输线法测量了样品的高频特性;初步探讨了颗粒膜的各向异性场的调制方法;主要得出以下结论:一、结构利用射频磁控溅射方法成功制备了(Fe65CO35)x-（B2O3）1-x系列颗粒膜。HRTEM明场像显示样品由纳米级（1～8 nm）的磁性金属颗粒均匀地镶嵌在B2O3绝缘介质中构成,其金属颗粒尺寸随金属体积分数的减小而减小。电子衍射环证明磁性金属颗粒为体心立方晶体结构。另外,X-ray衍射和HRTEM研究表明样品的晶粒尺寸基本等于颗粒尺寸,这说明一个颗粒只包含一个晶粒。二、磁性（1）系统地研究了(Fe65Co35)x-（B2O3）1-x颗粒膜系统的矫顽力Hc随磁性颗粒体积分数x的变化关系。在x=0.66-0.55的成分范围内,得到了好的软磁性能。矫顽力Hce最小为13.4Oe,最大不超过15.6Oe。我们认为,好的软磁性是由铁磁颗粒间的交换耦合所致。对于(Fe65Co35)x-（B2O3）1-x系统,由于Fe65Co35的铁磁性交换长度Lex较大（～26.0nm）,使得颗粒大小D和间距S之和都远小于Lex,从而在该成份范围内,颗粒间会发生交换耦合。由于交换耦合使颗粒的磁矩趋向平行排列,从而平均了单个颗粒的磁晶各向异性,并克服了退磁效应,使得样品的平均各向异性显著降低,因此有效地地降低了矫顽力。（2）研究了磁各向异性场Hk随x的变化。结果表明随着x的减小,样品的Hk与Hc的变化趋势相反,先增大后减小,在0.55＜x＜0.66范围内Hk较大并且在x=0.61时,Hk最大达到65Oe;说明在交换耦合比较强的区域,Hk有较大的值。（3）δM（H）曲线的研究结果表明:(Fe65Co35)x-（B2O3）1-x系统颗粒间的相互作用为类铁磁性的相互作用,即交换耦合,它导致了低的矫顽力和高的磁导率。三、高频特性利用短路微扰传输线法测量了Fe65Co35-B2O3系统样品的高频特性。（1）在0.55＜x＜0.66的范围内,获得了很好的高频性质,具有高的磁导率μ′和铁磁共振频率fr;并且在这一范围内样品具有很高的电阻率ρ,颗粒薄膜的这些性质预示着这种样品具有很好的高频应用前景。（2）对于x=0.61的Fe65Co35-B2O3典型样品,在f＜1.3GHz时,实部μ′大于180,而虚部μ″在f＜1.0 GHz范围内小于50。当频率大于1.0 GHz时,μ″迅速增大,这是由于铁磁共振（FMR）所致,且共振频率高达2.65 GHz,电阻率高达2.38×103μΩ·cm,较纯金属的高三个量级。用Landau-Lifshitz方程拟合的结果表明在此甚高频下磁性行为是自然共振。四、FeCo-B2O3系统的各向异性调制本文采用以下两种方式研究了各向异性的调制:（1）改变Fe、Co之间的原子比利用射频磁控溅射方法制备了(Fe100-yCoy)0.61-（B2O3）0.39系列样品,结果表明当Co含量在35.0＜y＜77.0之间,各向异性场几乎不随Co含量变化,但其矫顽力逐渐减小,在y=77.0时最小;但当Co含量y＞77.0后,各向异性场迅速消失,其矫顽力迅速增大。（2）斜入射对(Fe23Co77)0.61-（B2O3）0.39样品研究了磁各向异性场Hk随入射角度θ的变化关系。发现当入射角度从0°上升到30°时,各向异性场从53 Oe逐渐增大到115 Oe。通过实验研究了样品的各向异性的起源。我们认为该薄膜磁各向异性场是由两部分组成:不可逆部分和可逆部分。不可逆部分可以用各向异性的交换耦合的模型来解释;而可逆部分可用原子对的方向有序来解释。