【摘 要】
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MEMS微器件动态特性的研究需要相应的测试系统。利用压电陶瓷作为高频振动激励源，实现对MEMS微器件的底座激励，完成了微器件的变幅值驱动电压扫频实验和瞬时高电压冲击特性测试实验，获得了微器件的谐振频率和冲击响应特性。压电陶瓷驱动电源的性能很大程度上决定了压电陶瓷动态特性和相关激振装置的一些特性。研制了高频率、大电流、大功率的压电陶瓷扫频驱动电源，其特点是对压电陶瓷充电速度快，能有效提高压电陶瓷的响
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MEMS微器件动态特性的研究需要相应的测试系统。利用压电陶瓷作为高频振动激励源，实现对MEMS微器件的底座激励，完成了微器件的变幅值驱动电压扫频实验和瞬时高电压冲击特性测试实验，获得了微器件的谐振频率和冲击响应特性。压电陶瓷驱动电源的性能很大程度上决定了压电陶瓷动态特性和相关激振装置的一些特性。研制了高频率、大电流、大功率的压电陶瓷扫频驱动电源，其特点是对压电陶瓷充电速度快，能有效提高压电陶瓷的响应速度。研制了压电陶瓷冲击驱动电源，冲击电压最高为165V，可以输出瞬时大电流驱动压电陶瓷，以达到瞬时冲
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为了提高超声检测的效率和可靠性，本文在基于PC的超声检测虚拟仪器的基础上，综合应用超声检测技术、虚拟仪器技术、计算机技术、电子技术和数字信号处理技术，进一步完善了超声检测虚拟仪器的功能，使其不仅能够完成超声信号的实时采集、分析、处理，还能通过软件控制扫描系统完成超声的A、C扫描、数据处理和基本的缺陷定位、定量和定性分析等功能，实现了超声检测的图像化、智能化和自动化。 超声检测虚拟仪器是由数据
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