目前光栅测量系统的静态校准技术已经发展较为成熟,但是,这种校准技术没有考虑测量系统的真正的动态运作模式,由于光栅系统在测量过程中往往是处于运动状态,在整个运作过程中动态效果对位置误差的影响是不可避免的,测量静态特性并不能完全反映其动态特性,所以本文对光栅测量系统的动态误差做了些研究。 设计了一套光栅测量系统位置动态误差测量的实验系统,以现有的光栅测长仪为研究对象,高精度双频激光干涉仪作为校准系统。利用光栅测长仪编码器产生的A-quad-B脉冲信号触发激光干涉仪进行同步动态数据采集,由激光干涉仪软件(根据ISO230-2标准)来获取和显示位置误差数据,并同步绘出非常真实详细的动态误差图。最后在不同的运行速度下给出了光栅测长仪动态误差的实验结果并进行了分析。 最后将实验结果所得的动态误差数据用傅立叶变换和小波变换方法进行动态误差分解与溯源,分析找出组成动态误差的真正误差源。为动态误差修正和补偿提供了基础;然后简要介绍了基于标准量插入的动态测量误差的贝叶斯建模预报的基本原理,对实验结果的误差进行了贝叶斯建模预报,同时也验证了贝叶斯建模预报模型的适用性和模型精度。