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钛酸锶钡(Ba1-xSrxTiO3,BST)由于其介电常数可通过外加电场来调节(即介电可调性能),从而成为微波调谐器件的重要材料,并获得广泛的研究。本论文利用改进溶胶凝胶(Sol-gel)法制备系列BST薄膜,重点研究了标准计量比和非标准计量比的钇(Y)掺杂、锰(Mn)掺杂、Y和Mn复合掺杂及梯度浓度掺杂结构薄膜,及其对BST形貌、结晶及介电性能的影响。主要结果如下:1.研究了标准计量比和非标准计量比的Y、Mn单一掺杂及复合掺杂的BST薄膜,利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD