近年来对于金属纳米颗粒的研究日趋高涨。纳米颗粒在生物医学、化学、物理、光纤传感等等方面已经得到了非常广泛的应用。而对于金属纳米颗粒的制备就会显得特别重要,本文即主要研究了激光退火金属膜形成金属纳米颗粒的一些情况。国外学者对于激光退火金属膜从不同角度进行了探索。国外如S.J.Henley等人的在平面上的金属膜用激光退火以后纳米颗粒的研究,发现金属膜首先是先变成一个个的网状结构,随着激光退火时间的持久,最后退火完成结果会形成一个个的金属纳米颗粒。本论文的研究工作主要包括：1.改变衬底的结构,利用规律缺陷的衬底诱导金属膜以期形成规则的纳米颗粒阵列；2.采用不同能量及频率的激光进行多次退火,找到形成规则纳米颗粒阵列所需的条件；3.建立模型对所做实验进行分析,最后用分光光度计对样品进行测量再与显微镜观察的结果进行对比；4.对最后所得到的样品采集得到的数据进行数值分析并和无缺陷面进行对比,明显突出了规则缺陷性衬底所显示出来的优越性。激光退火金属膜有非常广阔的应用前景,本研究的特点就是通过激光诱导缺陷衬底上金属膜,在微观上来改变退火金属膜结构,使其产生很好的诸如反射率等光学性质。其光学性质的测定主要是用分光光度计测定了样品的分光度,并发现随着初始膜厚度的增加有红移现象的出现,这样也从侧面证明了金属纳米颗粒的形成。影响材料的性质的最主要的因素就是其结构的不同,根据这一思路我们期待改变纳米材料内部其颗粒的分布来改善其外部表现的光学性质,比如随着金纳米颗粒之间间距的不同,其对光的反射及透射的程度有所不同,并因此希望可以找出最佳的颗粒间距,以期能改善其在光学的性质上的表现,能够更好的应用于光纤传感领域。最后根据我们的研究成果以及前人的经验,提出了进一步研究方向的前景,希望可以给其他在此领域的研究者以借鉴。