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微机械加速度计作为一种重要的惯性器件,在汽车、消费电子、惯性制导等方面有广泛的应用前景。本文介绍了低噪声和高速全差分运算放大器的设计基本原理,另外针对本实验室的闭环加速度计系统结构,设计了其内部的运算放大器,即电荷放大器,后级放大器,单位增益缓冲器。作为全差分微加速度计检测电路的电荷放大器,必须进行低噪声设计。本文设计的低噪声全差分放大器的等效输入噪声在10.55nV/ Hz左右。而随着数据传输速率的增加,在许多方面需要高增益和高带宽的运放去满足系统的精度和速度的要求。因此本文为了适应这