信息技术产业是当今社会经济发展的重要驱动力，在我国经济体系中处于战略性的核心地位。近年来，为了更好地促进我国信息技术产业的发展，全国各地出现了众多以信息技术初创企业为主要孵化对象的孵化器，与综合企业孵化器相比，它们有技术和人才上的专业优势，更有助于提高创业成功率。但目前信息技术企业孵化器尚未引起人们足够的重视，目前信息技术企业孵化器的孵化情况如何，孵化绩效是否需要提升，哪些因素会影响其孵化绩效都是亟需解答的问题。本文正是基于这些疑问展开了研究。本文首先对我国的信息技术企业孵化器发展情况进行了分析，然后运用DEA方法，对50个国家级的信息技术企业孵化器进行了孵化绩效的评价。通过对孵化器的技术效率、纯技术效率、规模效率、投影和影子价格的分析，得出了信息技术企业孵化器的绩效现状，以及投入产出要素的改进方向。接着选取了196个综合企业孵化器，通过与信息技术企业孵化器的对比，得出了两者的绩效差距。从两部分的绩效分析中可以看出：我国信息技术企业孵化器孵化绩效偏低、两极差异较大，而且孵化绩效在整体上比综合企业孵化器低。其中，信息技术企业孵化器对自身投入资源的利用和配置的效率低下是主要原因，孵化器应该要注重资源的配置。为此，信息技术企业孵化器需要精简专业辅导团队，加强对资金和技术平台的利用，并且拓展业务范围，增加业务收入，争取培育更多的初创企业，并提升企业的创新能力。其次，针对DEA方法得出的信息技术企业孵化器之间的相对绩效差距，本文通过对典型孵化器的对比分析，进一步探讨导致绩效差距的原因。首先采用扎根理论对5个样本企业进行理论性采样，通过对访谈资料的分析编码，识别出了21个影响信息技术企业孵化器绩效的因素。然后建立了以外部因素、内部因素和关联因素为主要维度的信息技术企业孵化器孵化绩效的影响因素模型，并描述了影响因素间的作用路径。最后，采用案例研究的方法，对拓思软件科学园的孵化案例进行了绩效评价和影响因素分析，验证了对信息技术企业孵化器孵化绩效评价的结果，并通过对成功因素的分析以及孵化绩效的影响因素模型的有效性。