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为了进一步减小微电子系统的尺寸,一种可行的办法是将供电模块与电子器件或传感器集成在同一个硅衬底上。硅基锂离子电池具有高容量/能量密度、良好的工艺制备兼容性、易与电子器件集成等优点,因此非常适合充当该系统的供电模块。集成锂离子电池由衬底、锂离子势垒层、集流层、负极、电解质和正极构成。本文研究了半导体行业中常见的材料(Si、SiO_2和SiN)的电化学性能,为这种集成结构做准备。锂离子势垒层在上述集成结构中能阻挡锂离子扩散到同一衬底上的器件区域,以免器件性能受到负面影响。本文研究了热生长二氧化硅薄膜作为