在化工、制药等一些特殊真空环境中,含有大量带电粒子及饱和水蒸气,常见的真空度测量方法对气体环境中的带电粒子十分敏感,会严重影响测量准确度,进而极大影响生产效率及产品质量,因此该问题是业界目前亟待解决的。针对这种特殊情况,本文分析了带电粒子及其他因素对传统测量设备的影响,选择了电容薄膜真空计作为改进对象,设计并提出使用全陶瓷规管进行电荷屏蔽的方案。通过受力分析,探讨提高传感器精度的方法：为降低温度对电容传感器的影响,在有限元分析的帮助下设计了快速加热恒温控制系统；通过小型化、模块化的设计,提出了结构简单、响应快速的真空度测量电路及温度测量与控制电路,并对其进行仿真；通过合理的单片机系统设计,提出了一整套真空度、温度测量与控制系统方案,可以实现恒温加热、测量真空度并进行相应显示。通过实验,该系统测量准确,结构简单,成本较低,易于推广,可以为国内特殊环境下低真空度测量方法的研究提供一定参考。