半导体纳米电子学的设计与太赫兹探测性质研究

来源 :南京邮电大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:michael_zhang_x
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半导体晶体管尺寸缩小让新型材料和新型结构得到了飞速的发展,为进一步改善场效应晶体管器件性能,论文将异质栅(HMG)、轻源漏掺杂(LDDS)和线性掺杂等技术应用到到纳米场效应管中。通过构建场纳米效应管的量子输运模型,研究异质栅(HMG)、轻源漏掺杂(LDDS)和线性掺杂对器件输运特性的影响。本论文主要内容有:利用有限元方法计算采用轻源漏掺杂-异质栅结构硅基MOSFET结构(LDDS-HMG-MOSFET)的电学特性,并分别研究了HMG和LDDS结构对该新型结构的电学特性的影响。结果表明HMG结构能够降低MOSFET的漏电流从而提高开关电流比,同时还能够抑制DIBL效应,LDDS结构能够增大器件的有效沟道长度从而减小带带隧穿效应。研究了两种碳基新型结构的电学特性,一种是采用轻源漏掺杂-异质栅结构的碳纳米场效应管(LDDS-HMG-CNTFET),另一种是采用线性掺杂-异质栅结构的石墨烯场效应晶体管(DL-GNRFET)。并比较了硅、碳纳米管和石墨烯的场效应晶体管的电学特性。结果表明,LDDS-HMG-CNTFET有很低的漏电流,很好的开关特性,能够有效抑制DIBL效应,减小短沟道效应,改善传输效率和抑制热电子效应。DL-GNRFET能够降低漏电流,提高截止频率,改善传输效率,有效抑制带带隧穿效应。以等离子波动机制为基础,利用流体力学理论研究器件的太赫兹探测响应,结果表明当THz辐射照射场效应晶体管源端,在一定边界条件下,场效应晶体管的源漏端将会形成一个直流电压,而这个直流电压的大小和THz辐射的频率和幅度有关。
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