集成电路工艺技术和微机械加工工艺技术制备的微机械加速度计，以其体积小、重量轻、功耗小、成本低、易集成、抗过载能力强和可大批量生产的特点成为微惯性测量组合的核心元件。电容式加速度计由于其低噪声、高精度、低功耗的特点是微机械加速度计中应用比较成功的一种。本文围绕车载MEMS传感器项目设计一种基于CMOS MEMS技术的单片集成多层金属结构的三轴式电容式加速度计。具体的主要工作和成果如下：(1)对比分析不同种检测原理的加速度传感器的优缺点和可行性，选择梳齿型电容式结构作为论文研究的主题方向；(2)针对梳齿型电容检测方式，设计出可同时检测三个轴向加速度的整体传感器结构。该传感器整体检测结构主要包括：检测XY轴质量块、检测Z轴的质量块、采用等层的定齿动齿均匀式梳齿结构的XY轴敏感单元、采用金属层相互交错的Z轴敏感单元、用于支撑XY轴向质量块的L型弹性梁、用于支撑Z轴向质量块的一字型支撑梁、锚点；(3)利用有限元软件进行传感器结构整体力学性能的模拟验证，并根据验证后的结果对传感器尺寸进行优化，得到传感器的水平方向和Z方向的机械灵敏度和共振频率；(4)设计一种双载波低阻前置放大器检测电路，重点研究放大器MOS管参数的确定，利用电路软件模拟验证设计电路的整体性能，最后得到传感器的灵敏度；(5)详细阐述采用CMOS MEMS0.35um TSMC工艺制备传感器的加工步骤。