全自动X射线角分类机转台控制系统设计与开发

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X射线角分类机是目前晶体切割和加工设备中重要的定向专用设备。X射线角分类机是以X射线为手段,依据布拉格方程,对晶体进行分析的光机电一体化精密仪器。为了提高晶片测量精度,需要采用Q旋转测量法进行晶体的检测,由于实际研发过程中采用低精度编码器与高速数据采集器相结合的方法,通过数据插值得到每个角度秒的X射线衍射值,这就要求转台运行高度平稳,另外转台的振动也会造成晶体测量的误差。因此,设计开发转台控制系统具有一定的理论和实际应用意义。本文基于FPGA平台设计了转台控制系统,实现对转台转速的控制和振动的测量。对于转速控制子系统,采用光电编码器反馈转速信息,设计了包括光电编码器接口电路,电机驱动电路在内的硬件接口电路并设计了软件模块;采用自适应逆控制策略消除扰动力矩的影响,设计了控制器并仿真,仿真结果证明了控制器是符合系统设计要求的。对于振动测量子系统,采用CCD技术对晶片进行激光校偏,设计了包括二值化电路,CCD驱动电路以及数据采集电路在内的硬件接口电路及软件模块,同时设计了上位机监控界面进行实时监控。本文的主要工作包括:转台转速控制系统设计,转台振动测量系统设计,USB通信程序及上位机程序设计,转台转速控制算法研究。
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