航天、军用电子元器件对于寿命与可靠性的要求极高,器件内部气体成分的准确检测在其可靠性验证中占据重要地位。目前,由于腔室体积逐渐微型化,腔室内部气体检测过程中存在严重的气体分压瞬态变化。同时分子流、过渡流状态下气体流导与分子质量相关的特性,分子泵对于气体的抽速选择性会导致气体传输质量歧视现象,为准确检测气体分压带来了挑战。本研究中,通过流体动力学方法与直接模拟蒙特卡罗方法对微小密闭腔室中氮气与氢气混合气体瞬态检测过程与质量歧视现象进行了研究。模拟结果显示,0.01cc（1atm）以上体积样品在检测过程中存在一定的稳态过程,而更小体积样品在检测过程中取样腔和离化室中气体分压均处于强烈的瞬态变化中。并且,离化室中检测获得的氮气与氢气分压比与样品中初始情况存在较大差异。根据模拟结果,文章提出利用节流元件中气体流导对质量歧视效应进行修正的方法,对模拟中的气体分压比的修正误差均小于5%。同时,文章重点研究了过渡流态下的气体质量歧视效应。结果表明节流元件对混合气体流导以及混合气体中各组分流导均随氢气占比提高而增大,但此流导变化对于修正方法的影响较小。研究最后通过一个简化的实验系统完成了对过渡流态下的气体瞬态检测模拟的验证,实验获得的节流元件混合气体流导与模拟外推值吻合良好。本文中模拟与实验相关结论能够为国产微小体积内部气氛检测系统设计以及不同流态下的气体质量歧视修正提供理论参考,具有一定的实际意义。文章创新点在于使用直接模拟蒙特卡罗方法与简化伯努利碰撞对选择格式对气体样品检测过程进行了跨流态的瞬态模拟,并且提出了过渡流下的气体质量歧视修正方案。