【摘 要】
:
横向双扩散金属氧化物半导体场效应管(Lateral Double-diffused Metal Oxide Semiconductor,LDMOS)由于具有耐压能力强、工作电流大、高频性能优、集成特性好等优点,被广泛应用在功率集成电路中。近年来随着功率集成电路向低功耗、高功率密度和高集成度的方向不断发展,对LDMOS器件的性能要求也更为严苛,如何设计出一种具有高击穿电压、低导通电阻及高可靠性的LD
论文部分内容阅读
横向双扩散金属氧化物半导体场效应管(Lateral Double-diffused Metal Oxide Semiconductor,LDMOS)由于具有耐压能力强、工作电流大、高频性能优、集成特性好等优点,被广泛应用在功率集成电路中。近年来随着功率集成电路向低功耗、高功率密度和高集成度的方向不断发展,对LDMOS器件的性能要求也更为严苛,如何设计出一种具有高击穿电压、低导通电阻及高可靠性的LDMOS器件成为了目前研究的热点。本文设计了一种三维双沟道LDMOS器件,首先使用仿真软件Sentaurus对三维双沟道LDMOS器件进行建模仿真,重点分析了槽栅结构、平面栅结构、金属场板结构、平面栅场板结构、漂移区浓度和高压N阱浓度对器件电学性能参数的影响,得到了符合设计指标要求的结构和工艺参数。接着研究三维双沟道LDMOS器件的可靠性,研究结果发现:大电场和大电流下的Kirk效应及寄生NPN管开启是导致器件维持电压和开态击穿电压偏低的主要原因,在器件漏极增加N-buffer阱能提升器件的维持电压使其满足ESD设计窗口的要求,同时还能拓展器件的安全工作区;平面栅沟道拐角处的热电子注入和界面态的产生是造成阈值电压和导通电阻退化的主要原因,改变平面栅弯折角度可以降低沟道拐角处的碰撞电离峰值从而提升器件的热载流子可靠性。仿真结果显示:三维双沟道LDMOS器件的阈值电压为1.3V,击穿电压为41.4V,特征导通电阻为10.54mΩ?mm2,二次击穿电流为2.3?10-3A/μm,开态击穿电压为34.8V,最坏应力状态下的碰撞电离峰值为1.84?1027 cm-3/s,实现了设计指标的要求,获得了击穿电压、导通损耗及可靠性的良好折中关系。
其他文献
《中国教育改革大系:职业教育卷》 入选理由从体系建设、制度建设、体制机制、内涵建设、基础能力、服务体系和对外开放等方面全面回顾我国职业教育30多年来的发展历程,以改革
人体解剖学是医学生的必修基础课程。标本考试是解剖学教学中的一个重要环节。为了适应教学的需要,解决办学规模扩大后资源相对不足的问题,我们教研室利用计算机多媒体技术,进行
冠状动脉粥样硬化(AS)是全球第五大疾病[1],由其导致的急性心肌梗塞(acute myocardial infarction,简称AMI)是危害人类健康的一个主要疾病.过去的几十年里,由于治疗方法的进
近日,泰国腾博雅教育集团董事长Mr Pakdee,深圳风向标教育资源股份有限公司董事长,腾博雅教育集团驻中方代表一行应邀来兰州石化职业技术学院访问,洽谈国际合作办学事宜。双方代
血管内皮祖细胞(Endothelial progenitor cell,EPC)是血管内皮细胞的前体细胞, 又称为血管母细胞(Angioblast),不仅参与胚胎血管生成,而且最近几年研究发现,EPC也参与出生后
成都工业职业技术学院围绕区域产业发展人才需求,融合政府部门、产业园区、高校、企业、协会等单位和组织,牵头组建建筑、财经、汽车、物流等职教集团,建立理事分会,搭建职业教育多元合作平台。打破“学科 专业”传统架构,实行“产业 专业集群”形式,创新以产业链为导向的集群式技术技能人才培养模式,构建装备制造、轨道交通、汽车工程、物流工程、建筑工程等七大专业集群,为区域经济发展培养急需的技能人才。学校实施“一
随着当今社会对人才需求层次的提高,中等专业学校的培养体系、办学模式正在发生巨大的变化.以前的中专教育是学生就业前的最后教育,对于所传授的各门知识,一般是任课老师自行
近年来,信息技术拥有非常快速的发展,进而使企业得以高质高效的运转。机场属于特殊服务企业,IT服务的地位也非常高,其原因在于机场IT服务对象不仅仅包括企业内部,还包括广大
面临日趋严峻的全球变暖形势,减少温室气体的排放已成为各国关注的重点领域。而作为全球最大的发展中国家,中国所面临的碳减排压力尤为巨大。在此,本文选取中国最大的城市之一——上海作为研究区域,深入分析了上海市基础设施全生命周期碳排放及其时空演变特征,旨在为上海市实现可持续发展提供数据支持,乃至进一步为国家顶层设计推进生态文明建设,落实节能减排政策提供帮助。首先,本文在明确了全生命周期评价核心概念的基础上
恩格斯在<致玛·哈克奈斯>的信中曾以巴尔扎克的创作为例,指出现实主义甚至可以违背作者的见解而表露出来,他称这一现象为"现实主义的最伟大胜利".围绕这一问题在东西方