集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中，而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机指采用VME总线的工控机系统，包含运行着VxWorks系统的PowerPC处理器和多块控制板卡，控制着双工件台系统的运行。上位机系统是在PC机上开发的应用软件系统，主要负责管理、监控、仿真双工件台系统的运行和对数据进行后期处理，并向用户提供友好的人机交互界面。本文详细介绍了上位机系统的研究和开发工作。首先，简要介绍了双工件台系统的整体设计方案和工作流程，在此基础上完成了上位机系统的整体规划和模块化设计。然后，运用C++编程语言在C++Builder开发环境下对上位机系统的各个模块进行了具体的开发和实现，并进行了相关底层类的设计和封装，主要包括网络通信模块、数据库模块、串口通信模块、仿真模块和软件加密模块。上位机系统各模块的开发工作完成后，利用这些模块所提供的对外接口完成了上位机系统的整体实现。上位机系统的整体实现是指系统各部分功能的实现，包括安全登录功能、参数设置功能、实时监控功能、数据处理功能和仿真功能的实现。测试对于软件系统的开发是必不可少的。上位机系统的测试工作包括系统的内部测试和联机测试两部分，系统的内部测试包含了系统加密功能和系统登录功能的测试，系统的联机测试包含了网络通信、串口通信、三维仿真相关部分的测试。通过对上位机系统的反复测试从而验证了系统功能的完整性和可靠性。