激光诱导击穿光谱（Laser induced-breakdown spectroscopy,LIBS）技术是一种光谱分析手段,可应用于众多领域。作为一种成分分析技术,其定性分析方案已比较成熟,但定量分析方案仍需要探索,尤其是定标曲线需要进一步完善。LIBS的定量标定方法包括标准样品法、内标法以及无定标法（Calibration-Free LIBS,简称CF-LIBS）。前两种方案都必须基于制备标准样品才能实现,但LIBS应用范围很广,很难为全部应用场景制备合适标样;而无定标法要求LIBS的等离子体处于局部热力学平衡（Local thermal equilibrium,LTE）状态。LIBS等离子体能否达到局部热力学平衡,等离子体形成过程的初始条件是关键因素,而激光烧蚀引发的脉冲热电子发射是LIBS等离子体演变的初始条件之一。为此本文研究金属表面的激光烧蚀热的电子发射行为。为了对脉冲热电子发射过程实现跟踪,基于电流源电路测量原理,提出了一种针对热电子发射电流的电路测量方法。针对Nd:YAG脉冲激光在真空条件下引发的烧蚀过程,设计了两种测量模式,即电感模式和电容模式。针对不同模式,建立了热电子发射电流强度的测量方案以及计算方法。利用两种模式均能跟踪电子发射电流演变,两种模式的对比显示:电容模式下,测量电容若能满足容值足够大、寄生电感足够小的要求,电子流测量精度将可能优于电感模式。就目前尝试过的电容器件而言,虽能发现电容模式测量精度的提高趋势,但因器件品质所限,没有超过电感测量模式的精度。其次,利用电感测量模式研究了热电子发射过程的演化特性。结果表明:热电子发射强度峰值时刻出现在激光脉冲后约18 ns处,远小于烧蚀等离子体的形成时间。电子流脉冲的上升沿约为18 ns,脉冲宽度为24 ns,明显早于烧蚀等离子体的形成时刻。另外,重复烧蚀实验表明:在一定烧蚀次数范围内（50次）,不同烧蚀产生的热电子发射脉冲基本是重复的,因此可以通过多次烧蚀的平均测量消除偶然误差,提高测量精度。背景真空度对热发射电子的收集有一定影响,通过计算可知真空度为3 Pa时,背景气体的影响可以忽略。利用电感测量模式研究了光斑面积、材料种类、激光能量对热电子发射行为的影响。结果表明:光斑面积与激光能量是通过共同改变作用于表面的激光能量密度来影响热电子发射行为。当激光能量一定时,热电子流密度随光斑面积增加而迅速减小;三种不同靶材的对比表明,相同激光能量密度条件下,钛靶的烧蚀热电子发射电流密度最大,铜靶次之,铝靶最小;根据热电子发射模型,发射电流密度由发射区的温度及功函数决定,表面温升达到材料熔点的时刻即为热电子发射结束的时刻。激光能量与光斑面积决定表面温升,材料熔点决定热电子发射峰值电流密度。