基于图案化电极的液晶微光学结构的设计与制作研究

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液晶是一种分子排列取向有序的材料。其具有双折射特性和受电场强迫取向的电响应特性。目前液晶材料已经广泛用于制作多种光电器件如液晶透镜等。基于液晶材料的光电器件具有体积小、驱控电压低、功耗极小和光学行为电控可调等特点。本文针对使用复杂图案电极板的液晶微光学结构制作电控折/衍射型器件,做了深入的基础研究,对使用较为复杂的图案化电极板的液晶微光学结构进行三维建模、仿真和设计,并制作了相应的液晶微光学功能结构。本文根据液晶连续弹性体理论,使用张弛法对复杂极板的液晶微光学结构进行三维建模仿真,模拟了液晶指向矢在外加电场作用下的动态响应行为。软件在Matlab环境下编写,能够计算液晶层内指向矢分布、电势分布和出射光相位延迟角分布,并且适用于任意图案电极。针对不同图案电极、不同外加信号电压和不同液晶层厚度等三种情况进行了仿真计算,并以此为依据制作器件。本论文中采用光刻和湿法腐蚀的方法来制作器件。首先使用AutoCAD软件绘制光刻板图;然后设计合理的ITO(Indium-Tin Oxide氧化铟锡)玻璃尺寸;通过光刻、显影腐蚀等步骤制作复杂极板图案的ITO电极;对ITO电极涂聚酰亚胺,固化并摩擦定向;最后,注入液晶并封装器件。搭建了液晶器件的测试光路,测试了与CCD探测器不同距离及不同外加电压下,液晶器件的成像特性以及单色激光干涉图案。实验结果验证了仿真模型的正确性和有效性。
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