CIMS（Computer Integrated Manufacture System,计算机集成制造系统）是大规模集成电路制造行业中的一个关键部分构件，如果不使用它，整个操作过程由人工来完成，那么产品的生产制造是很难进行下去的。因此，CIMS稳定并高效地运行对于芯片制造企业是非常必要的。在实践中，我们发现CIMS宕机的主要原因在于软件BUG以及软件使用不当，硬件因素所占比例反而不大。因此我们自主研发了一个CIMS网络监控系统，监控整个系统的资源，例如内存、应用程序和软件资源（如MBX、Tuxedo、 Weblogic资源）等，通过对这些数据进行分析，可以对系统的运行状况做出合理的判断，并且可以根据这些信息来判断当前系统是否能够支持未来更大的产能，从而为企业决策提供依据。本文详细介绍了CIMS性能监控系统的分析、设计和实现，以及应用。首先，介绍了当前集成电路制造行业中CIMS的架构，并分别对基于Tuxedo、Weblogic和MBX的系统的架构描述；然后，重点介绍了对CIMS性能监控系统的设计，分别详细介绍了数据采集、数据存储和数据展示三方面的设计；接着，又详细地介绍了CIMS性能监控系统的实现方式，即数据采集采用SNMP和Web Service实现，数据存储采用RRD（Round Robin Database）实现，数据展出通过MVC实现，即Spring，JSF和RRD；最后，介绍了CIMS性能监控系统的作用和现实意义。