近年来,由于加工工艺的进步,射频微电子机械系统(RF MEMS)技术飞速发展,进一步促进了微波射频电路朝着小型化、集成化等方向发展。开关作为微波集成电路的一种重要元件,其高隔离度、低插入损耗和小型化成为开关的发展趋势。随着RFMEMS开关的可靠性的提高,其市场会越来越广阔。本论文设计了一种串联欧姆MEMS开关,采用的是固支梁结构,仿真结果表明,这种开关在0～50GHz带宽内的插入损耗小于1dB,隔离度大于20dB。通过ANSYS的力电耦合模拟分析,其驱动电压为27.3V。为了降低驱动电压,可以增加开关支撑梁的长度,同时采用双驱动电压板的设计,驱动电压降低到11.8V。论文设计了一种超宽带并联欧姆MEMS开关,其插入损耗在0～100GHz内小于0.7dB,隔离度大于15dB。论文给出了以上两种开关的等效电路,给出了等效电路中各分立元件的计算方法,等效电路计算结果与结构仿真结果吻合良好。RF MEMS开关可以单独使用,也可以组合成开关阵列使用。论文研究了开关组成阵列时的传输性能,并设计了单刀双掷开关、双刀双掷和单刀四掷开关阵列。论文还设计了工作频率达20GHz的4单元移相器,4个单元分别实现22.5°、45°、90°和180°移相。