压电微步进旋转驱动器的研究

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微位移机电系统在微电子工程、计量科学与技术、精密工程、生物工程、纳米科学与技术等领域有广泛的应用。微步进旋转驱动器是微位移机电系统的关键部件之一。本文设计了一种新型微步进旋转驱动器,该驱动器的核心元件——运动转换机构——采用螺旋变形原理和对称结构,将压电陶瓷驱动器的轴向微位移转换成微角位移输出,运动转换机构与箝位运动相配合,使微步进旋转驱动器的输出轴连续转动;本文还分析了压电陶瓷驱动器的材料和工作模式,对旋转驱动器进行了建模;对运动转换机构的简化模型进行了有限元分析,得出了计算公式并验证
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