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精密定位平台是精密机械中的关键部件,有着广泛的应用。随着人们需求的日益提高,传统的旋转伺服加丝杆的驱动方式已不能满足人们的需求。直线电机由于取消了中间的传动环节,理论上可以达到很高的精度,但同时也增加了控制的难度。因此,研究直线电机的高精度控制研究具有积极的实用意义。本文首先分析了系统的构成,并对各主要部件的选择和应用进行了介绍;然后通过系统单轴运动特性的分析,揭示了直线电机系统动态刚度差的特点。在完成系统单轴运动学的建模之后,针对系统的不确定性,设计了参数测量实验,得到了具有参数不确定性的