空间分光斐索动态干涉仪及其关键技术研究

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动态干涉测量技术是光学干涉测量领域的一项重要技术,用于解决通用时域干涉术在非稳环境下难以进行高精度测量的难题。同步移相干涉术作为动态干涉测量技术中一种重要的实现手段,在高精度位相测量方面得到了广泛的应用。为了消除时间移相中时变误差的干扰,同步移相干涉术在同一时刻采集多幅移相干涉图恢复待测位相。多数同步移相干涉方案将移相过程转移到空间进行并由此发展出多种空间同步移相方案。本论文围绕空间分光同步移相干涉测试方法开展研究,主要工作包括:第一,提出了基于点光源异位空间分光的同步移相斐索动态干涉仪方案。研究了点光源异位移相原理,通过点光源在垂轴方向上的偏移在斐索干涉仪的参考波面和测试波面间引入相移。采用分光产生的四个点光源在垂轴方向上的不同错位产生等间隔相移,结合成像透镜阵列同步获取四幅移相干涉图并解算待测位相,实现了瞬态干涉测量。第二,研究了空间分光斐索动态干涉仪及其关键技术。为了获取高质量的点光源阵列,设计并制作了光栅分光光源系统和光纤分光光源系统。研制了一种基于成像透镜阵列的同步成像系统,获得了成像清晰且空间分离的同步移相干涉图。第三,基于所研制的空间分光斐索动态干涉仪对平行平晶光学均匀性的测量开展了研究,提出了一种均匀性的绝对测量方法。为了验证所提方法的准确性,使用该方法与波长调谐干涉仪对同一平行平晶的光学均匀性分布进行测量。结果表明,两种方法测量结果的峰谷值偏差为5×10-7,均方根值偏差为-7×10-9,光学均匀性分布一致。第四,对干涉仪的测量误差进行了讨论分析。研究了动态斐索干涉仪位相测量误差源及抑制方法、系统出射波面误差对测量结果的影响。对同步移相干涉图位置匹配误差和光强不一致误差进行了研究分析。
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