【摘 要】
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该文对混合型集成光学加速度计进行了深入的研究.从传感机理出发,推导了光波在光纤中传播时相位变化与光纤应力应变之间的关系,导出了应力应变与加速度的关系,从而建立了光波
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该文对混合型集成光学加速度计进行了深入的研究.从传感机理出发,推导了光波在光纤中传播时相位变化与光纤应力应变之间的关系,导出了应力应变与加速度的关系,从而建立了光波的相位变化与加速度的关系.阐述了铌酸锂波导型迈克尔逊干涉仪的输出光强和输入加速度的关系.该文首先对双Y分支波导构成的波导干涉仪的原理以及波导的弯曲损耗进行了论述.其次,论述了铌酸锂钛扩散波导相位调制器的电极设计.根据电光效应的基本理论及工艺上的具体要求,采用了X切Y传集总型电极调制;用计算机编程对电极的具体结构进行了计算,并对不同的电极驱动电压下的电极尺寸进行了比较和选择,最终确定了电极的结构.然后论述了X切钛扩散铌酸锂光波导及其带有金属包覆/介质缓冲层的偏振器结构的设计,理论上计算并确定出1.3μm铌酸锂光波导TE<,0>模偏振器的参数.同时,对于X切钛扩质子交换光波导偏振器结构及工艺也进行论述.
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