总控及通讯分系统(MCS)作为浸没式光刻机中与浸没液体控制相关的三个子系统的上位机系统,是形成稳态流场,实现浸没式光刻的重要控制系统。三个被控子系统功能相互独立,系统运行工序复杂,系统之间耦合度低,控制差异大,加之浸没式光刻机控制系统的集成化和模块化程度要求越来越高。为了降低系统设计的复杂度和实现系统的控制时序设计,采用系统建模方法简化MCS控制系统设计具有现实意义。本文针对MCS控制系统设计过程中的两大问题,提出采用有限状态机实现控制系统状态化,利用正交法对系统状态进行分析,并设计系统状态转移机制实现系统控制时序设计,利用Stateflow仿真验证状态转移机制的合理性,最后搭建了MCS控制系统运行平台,通过系统集成运行和测试证明采用有限状态机方法能简化MCS控制系统设计的目的。具体工作如下：1、介绍课题研究背景,分析MCS控制系统设计过程中的两大问题,提出有限状态机理论的解决方法,阐述MCS控制系统设计的整体方案,并描述系统功能和设计需求。2、设计MCS控制系统的硬件方案,对各硬件模块进行选型分析并搭建MCS控制系统的硬件平台。3、设计了MCS控制系统的软件架构,利用正交法对系统状态进行分析。通过控制流程分析了解系统的时序控制过程,利用UML用例图和时序图分析系统的交互。采用有限状态机方法建立状态转移机制,最后采用Stateflow软件仿真分析所设计的状态转移机制的合理性。4、集成MCS控制系统的软硬件平台,测试系统功能,验证系统时序控制的有效性,并对采用有限状态机理论设计的时序控制模块和信号分析模块进行性能测试。