基于相移显微干涉和面内补偿的MEMS离面运动测试

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【摘要】

：

MEMS动态测试技术是MEMS测试技术的重要组成部分，是目前国内外的研究热点之一。常用的MEMS动态测试系统多基于光学干涉技术或激光多普勒技术，光学干涉技术中的频闪成像技术有着测量范围广、测量精度高等突出优点，因此应用最为广泛。相移显微干涉技术是目前常用的MEMS器件离面运动测试技术，如何将其与频闪成像技术结合，完成MEMS器件面内和离面运动的一体化测试，是MEMS动态测试技术发展过程中亟待解决的

【作者】

：

陈澄

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2012年12期

【关键词】

：

MEMS 测试离面运动频闪成像相移显微干涉

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