共焦显微测量相关论文
共焦显微技术已被广泛应用于生物医学及材料学等微观样品的三维微结构测量领域。共轭针孔的引入使共焦显微技术具有了轴向层析能力......
并行共焦测量是利用微透镜和小孔列阵产生一个二维点光源阵列,实现对物面上一个二维阵列物点的同步共焦测量.传统的共焦显微测量系......
近年来,共焦显微测量技术由于其高精度,高分辨率,并且具有对透明,半透明以及高光物体良好的测量能力,在半导体器件加工、微型器件......