随着光学行业以及高分辨率的投影光刻系统、遥感等技术的发展,对光学元件表面面形地检测精度,特别是高精度球面面形检测精度要求越来越高。球面面形绝对检测技术可以去除干涉系统中参考面面形误差,提高了被检球面面形的检测精度,而成为一种有效的高精度的球面面形检测方法。论文以基于球面移相菲索干涉系统的三位置两球面面形绝对检测方法的原理分析为中心,讨论分析了两位置两球面面形绝对检测技术及五位置两球面面形绝对检测技术。对于高精度的球面面形检测,误差是影响检测结果的重复性及精度的重要因素。因此本文分类深入讨论分析了影响测量结果重复性及精度的PZT误差,球面几何面型引起的误差,CCD误差,以其三者的综合误差,标准镜头非线性误差,干涉仪光源误差、环境误差、装调机构随机误差。在各项误差分析的基础上,探讨了各项误差与干涉仪结构参数的关系及减小误差的准则和方法。设计并分析了三位置两球面和五位置两球面面形绝对测量的重复性及测量精度实验、三位置两球面猫眼位置重复性实验、五位置两球面面形绝对测量的参考面校准与球面拼接的参考面校准对比实验,重点讨论了三位置和五位置绝对测量方法中猫眼位置测量结果的固定误差：主要是标准镜头的非线性误差及猫眼位置装调引入的彗差。对比实验显示了球面面形绝对检测方法配合好的干涉仪及装调机构能有效地校准参考面误差,提高球面面形测量精度。