稀土薄膜材料是国防军工和新一代电子信息等战略性新兴产业不可或缺的关键材料。作为薄膜溅射源,稀土靶材的微观组织均匀性、晶粒尺寸以及晶粒取向等因素将直接影响着溅射薄膜的性能。稀土金属多为密排六方结构,微观塑性变形机制复杂多变,冷塑性变形过程极易产生加工硬化而发生断裂,热处理过程易产生异常粗大晶粒,严重影响稀土金属靶材的可加工性和品质。因此,消除冷轧过程中加工硬化而导致靶材破裂、以及控制热处理过程中晶粒异常长大,已成为制备微观组织均匀的高纯稀土金属靶材的关键核心技术难题。本文采用“冷轧+中间退火”相结合的工艺技术,消除了有密排六方结构的稀土金属铒冷轧过程加工硬化导致断裂的现象;进一步利用EBSD、XRD、SEM、金相和显微硬度等测试手段,研究了冷轧形变量、退火温度和退火时间等对金属铒靶微观组织和织构的影响,揭示了金属铒冷轧和热处理过程中微观组织和织构的演变规律,获得了微观组织细小均匀的金属铒靶最佳退火工艺制度。研究结果表明:（1）金属铒轧制形变初期,硬度逐渐增加,晶粒逐渐破碎;当形变量达到20%后,硬度急剧增加;形变量达到40%后,硬度趋于平缓,保持在130 HV左右,微观塑性形变机制以孪生和滑移协同方式转变为以滑移为主;形变量进一步增加到60%时,晶粒以细小的形变组织为主,平均晶粒尺寸为3.37 μm,取向分布均匀,晶粒破碎效果最好,晶粒内部出现部分再结晶,金属铒硬度下降。（2）金属铒初始再结晶温度随着轧制形变量的增加而减小,当轧制形变量为30%、40%、50%和60%时,对应的初始再结晶温度分别为520℃～580℃、500℃～540℃、480℃～540℃和 460℃～520℃。（3）与金属铒初始状态相比,随着形变量增加,（0110）面择优取向逐渐减弱;（0001）面在形变量为40%时择优取向增强,其他形变量下无明显择优取向;（1011）面的择优取向开始保持不变,当达到50%以后,存在逐渐减弱的趋势;（1210）面的择优取向明显,并存在进一步增强的趋势。（4）60%冷轧形变量的金属铒,在退火工艺740℃×1h条件下,晶粒细小且分布均匀,无晶粒异常长大的现象,平均晶粒尺寸为9.06 μm,为最优退火工艺。（5）轧制形变量为60%的金属铒,随着退火温度的增加,（0001）面的取向指数远大于1,择优取向增强,而（0110）、（1210）和（1011）面的取向指数始终保持在1左右,无明显择优取向产生。