【摘 要】
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该文针对等离子体基离子注入(PBⅡ)过程,建立了模型,模拟了鞘层扩展的动力学行为以及注入元素在改性层中的分布;通过单因素试验,研究了PBⅡ 工艺参数对注入结果以及保形性注
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该文针对等离子体基离子注入(PBⅡ)过程,建立了模型,模拟了鞘层扩展的动力学行为以及注入元素在改性层中的分布;通过单因素试验,研究了PBⅡ 工艺参数对注入结果以及保形性注入的影响.对等离子体鞘层的扩展进行流体动力学模拟,不仅可以掌握其扩展规律,还能获得入射离子的能量分布和角度分布,为注入层的成分分布模拟提供前提条件.对于圆柱形的注入试样主要研究了保留剂量在不同PBⅡ过程参数情况下的变化规律.选择不同尺寸的正方形和梯形(包含不同角度)棱柱作为待注入试样研究PBⅡ过程参数对保形性注入的影响.通过调整PBⅡ过程中的注入电压,脉宽,等离子体密度等参数,可以适应不同形状的工件,使工件表面的剂量分布为使用条件可以接受的均匀分布.研究结果表明,PBⅡ模型的建立以及PBⅡ过程参数对注入结果的影响规律的研究,可以深入理解PBⅡ的基本物理过程,并能通过合理的选择PBⅡ过程参数以优化工艺规程,以达到预期的表面改性效果.
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